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日本CKD化学液体用气控阀AMD413R-20BUP-00N4F

日本CKD化学液体用气控阀AMD413R-20BUP-00N4F

简要描述:日本CKD化学液体用气控阀AMD413R-20BUP-00N4F
①供液用化学液体阀 AMD※1H、MMD※0H系列
满足Fab的高压/大流量需求
液体供给线的综合解决方案!!

产品型号:

所属分类:日本CKD

更新时间:2022-08-26

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详细说明:

日本CKD化学液体用气控阀AMD413R-20BUP-00N4F

①供液用化学液体阀 AMD※1H、MMD※0H系列

满足Fab的高压/大流量需求

液体供给线的综合解决方案!!

■支持0.7MPa高压、高背压。

■气动阀、手动阀产品系列。

■焊管用伸出管产品系列。

■便于确认动作(带指示器)。

■附带防过度拧紧、安全锁紧机构(手动阀)。


②化学液体用气控阀 集成阀GAMD0※2A系列

适用于半导体用清洗装置的小型集成阀

■□30种尺寸适用于φ10气管的小型大流量集成阀。

■支持流体压力0.5MPa、背压0.3MPa的高压。

■接触液体部位由PFA、PTFE构成,适用于腐蚀性流体的化学液体

分流。

■2~5连为标准品系列。

■对应配管尺寸φ6、φ8、φ10、1/4"、3/8"。


③精密减压阀 PYM10、PMM20、PMP202、402系列

在半导体及LCD制造等使用洁净化学液体(包括纯水)的装置

内,用于控制化学液体压力的减压阀

■强力去异物过滤器内置型

■流量及压力特性优异,安装简单

■优良的耐腐蚀性

接触液体部位采用氟树脂(PFA、PTFE)以及SUS316,可以发挥优良的耐腐蚀性

■优良的压力及流量特性

采用氟树脂膜片,与金属膜片相比,压力及流量特性优异。

■内置过滤器,安全处理流体内的异物。

■采用面板安装方式,安装简便,可进行底面安装

■先导减压阀

减压阀通过先导空气控制可以调节为稳定的压力


④先导式3、4通阀 MN3E、MN4E系列

■环保

通过小型化、省电化,实现了轻量化、材料用量的减少和节能化。致力于减少影响环境的化学物质的使用,以焊接的无铅化为主,使用材料符合JIG-101标

准。

■小型、省空间

除阀模块宽10mm型的MN3/4E0 系列以外,还新增了阀模块宽7mm、集成间距

7mm的MN3/4E00型。7mm间距,更紧凑的集成阀有助于装置的小型化、高集成

化。

■高性能

·A口/B口均衡的响应性12ms。(N3E0 3通阀2个内置型的本公司数据值)

·无需繁琐的接线作业

连接接插件后,可同时完成组装和配线。

■安全性

·预防误动作标配排气误动作防止阀、进一步防止误操作的手动装置保护罩、防止异

物混入用的供气过滤网。追求彻底的安全性,预防阀误动作。


⑤搭载2个3通阀的电磁阀集成阀MN3Q系列


■小型

通过降低集成的高度(高34mm),可以安装在狭小的空间

■安装

安装方式从DIN导轨安装和直接安装中选择

■配管

由于可选择供气排气气口的接出位置,配管时回旋自由度提高了


日本CKD化学液体用气控阀AMD413R-20BUP-00N4F

型号选择时的注意事项

注1:F-LOCK60系列接头及PTFE阀体材质为接单生产品。

关于其它连接方式,请咨询本公司。

注2:控制气口方向、安装板请参照外观尺寸图。

注3:执行元件选择项:带传感器的情况,请咨询本公司。


注1:因为大多数情况下是各种化学液体的混合液,因此一般无法把握所有影响。

请充分确认产品构成材料与所使用流体的适用性,判断是否可以使用。

注2:如为氢氟酸或含氢氟酸的化学液体,则流体温度为5~80℃。

氢氟酸或含氢氟酸的化学液体无法在带旁通阀体中使用。

注3:在100℃以上的条件下使用硫酸 + 过氧化氢溶液时,请与本公司协商。

注4:在流体温度为80℃以上的条件下使用胺类剥离剂时,请定期进行更换。

参考标准为最少1次/1年。

注5:用于气体时,可能会发生最大1cm3

/分钟(空气压条件下)的阀座泄漏。

判定

● 可使用。(详细内容在产品记载页确认。)请与本公司协商。(在某些条件下可适用。)

× 不可使用。





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